潔凈廠房設計規范
氣流組組織和送風量
1 氣流組織的選擇，應符合下列要求：
一、潔凈工作區的氣流速度，應滿足空氣潔凈度和人體健康的要求，并應使潔凈工作區氣流流向單一。
二、回風口宜均勻布置在潔凈室下部。
三、余壓閥宜設在潔凈室氣流的下風側，不宜設在潔凈工作區高度范圍內。
潔凈室的氣流組織和送風量，宜按表5.3.2選用。
亂流潔凈室的送風量，應取下列規定的最大值；
 一、為控制室內空氣潔凈度所需要的送風量。
 二、按表5.3.2規定的送風量。
 三、根據熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量。