其凈化作用機(jī)理包含兩個(gè)方面：
一是在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或無害分子；
二是等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場(chǎng)作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當(dāng)臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，臭氣分子的化學(xué)鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時(shí)產(chǎn)生的大量•OH、•HO2、•O等活性自由基和氧化性極強(qiáng)的O3，與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，最終生成無害產(chǎn)物。
低溫等離子體中的高能電子可使電負(fù)性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負(fù)離子，它具有許多良好的健康效應(yīng)，對(duì)人體及其他生物的生命活動(dòng)有著十分重要的影響，被人們譽(yù)為“空氣維生素”、“長(zhǎng)壽素”。
低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應(yīng)。發(fā)生的靜電作用在各種細(xì)菌、病毒等微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于細(xì)胞膜表面張力，使細(xì)胞膜遭到破壞，導(dǎo)致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術(shù)具有優(yōu)秀的消毒殺菌之功效。
以上所述顯示，低溫等離子體技術(shù)不僅可以凈化空氣，同時(shí)還可以消毒殺菌，從而使空氣維持在自然、清新的狀態(tài)。這是其他任何技術(shù)方法所無法比擬的。